Physical Design and Mask Synthesis for Directed Self-Assembly Lithography - NanoScience and Technology - Seongbo Shim - Bücher - Springer Nature Switzerland AG - 9783030094553 - 8. Februar 2019
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Seongbo Shim
Physical Design and Mask Synthesis for Directed Self-Assembly Lithography - NanoScience and Technology Softcover Reprint of the Original 1st 2018 edition

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This book discusses physical design and mask synthesis of directed self-assembly lithography (DSAL). It covers the basic background of DSAL technology, physical design optimizations such as placement and redundant via insertion, and DSAL mask synthesis as well as its verification.

138 pages, 40 Tables, color; 54 Illustrations, color; 38 Illustrations, black and white; XIV, 138 p.

Medien Bücher     Taschenbuch   (Buch mit Softcover und geklebtem Rücken)
Erscheinungsdatum 8. Februar 2019
ISBN13 9783030094553
Verlag Springer Nature Switzerland AG
Seitenanzahl 138
Maße 150 × 220 × 10 mm   ·   226 g
Sprache Deutsch  

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