Fundamental Principles of Optical Lithography: The Science of Microfabrication

Mack, Chris (Lithoguru.com)

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Fundamental Principles of Optical Lithography: The Science of Microfabrication

Fundamental Principles of Optical Lithography: The Science of Microfabrication presents a complete theoretical and practical treatment of the topic of lithography for both students and researchers. This sole-authored text includes optional computer simulation exercises as well as problems at the end of each chapter.

534 pages, Illustrations

Medien	Bücher Taschenbuch (Buch mit Softcover und geklebtem Rücken)
Erscheinungsdatum	16. November 2007
ISBN13	9780470727300
Verlag	John Wiley & Sons Inc
Seitenanzahl	544
Maße	247 × 174 × 29 mm · 916 g
Sprache	Englisch

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