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Metrology, Inspection, and Process Control for Microlithography: XIII (Proceedings of SPIE)
Singh
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Metrology, Inspection, and Process Control for Microlithography: XIII (Proceedings of SPIE)
Singh
1052 pages, illustrations
| Medien | Bücher Taschenbuch (Buch mit Softcover und geklebtem Rücken) |
| Erscheinungsdatum | 30. Juni 1999 |
| ISBN13 | 9780819431516 |
| Verlag | SPIE Press |
| Seitenanzahl | 1052 |
| Maße | 1,74 kg (Geschätztes Gewicht) |
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