Ion Implantation in Semiconductors: Science and Technology - Susumu Namba - Bücher - Springer-Verlag New York Inc. - 9781468421538 - 29. April 2013
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Ion Implantation in Semiconductors: Science and Technology Softcover reprint of the original 1st ed. 1975 edition

Susumu Namba

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Ion Implantation in Semiconductors: Science and Technology Softcover reprint of the original 1st ed. 1975 edition

The technique of ion implantation has become a very useful and stable technique in the field of semiconductor device fabrication. This scope of the conference was still accepted at the fourth conference which was held at Osaka, Japan, in 1974.


742 pages, 97 black & white illustrations, biography

Medien Bücher     Taschenbuch   (Buch mit Softcover und geklebtem Rücken)
Erscheinungsdatum 29. April 2013
ISBN13 9781468421538
Verlag Springer-Verlag New York Inc.
Seitenanzahl 742
Maße 178 × 254 × 38 mm   ·   1,30 kg
Sprache Englisch  
Redakteur Namba, Susumu

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