CMOS Cantilever Sensor Systems: Atomic Force Microscopy and Gas Sensing Applications - Microtechnology and MEMS - D. Lange - Bücher - Springer-Verlag Berlin and Heidelberg Gm - 9783540431435 - 23. Juli 2002
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D. Lange
CMOS Cantilever Sensor Systems: Atomic Force Microscopy and Gas Sensing Applications - Microtechnology and MEMS 2002 edition

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This book is intended for scientists and engineers in the field of micro- and nano electro-mechanical systems (MEMS and NEMS) and introduces the development of cantilever-based sensor systems using CMOS-compatible micromachining from the design concepts and simulations to the prototype.

142 pages, biography

Medien Bücher     Gebundenes Buch   (Buch mit hartem Rücken und steifem Einband)
Erscheinungsdatum 23. Juli 2002
ISBN13 9783540431435
Verlag Springer-Verlag Berlin and Heidelberg Gm
Seitenanzahl 142
Maße 166 × 243 × 14 mm   ·   340 g
Sprache Englisch  

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