Physical Design and Mask Synthesis for Directed Self-Assembly Lithography - NanoScience and Technology - Seongbo Shim - Bücher - Springer International Publishing AG - 9783319762937 - 3. April 2018
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Seongbo Shim
Physical Design and Mask Synthesis for Directed Self-Assembly Lithography - NanoScience and Technology 2018 edition

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This book discusses physical design and mask synthesis of directed self-assembly lithography (DSAL). It covers the basic background of DSAL technology, physical design optimizations such as placement and redundant via insertion, and DSAL mask synthesis as well as its verification.

138 pages, 40 Tables, color; 54 Illustrations, color; 38 Illustrations, black and white; XIV, 138 p.

Medien Bücher     Gebundenes Buch   (Buch mit hartem Rücken und steifem Einband)
Erscheinungsdatum 3. April 2018
ISBN13 9783319762937
Verlag Springer International Publishing AG
Seitenanzahl 138
Maße 150 × 220 × 20 mm   ·   394 g
Sprache Deutsch  

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