Technologien Fur Mikrosysteme: Stand Und Entwicklung / Integrier Optik -- Schichttechniken -- Mikromechanik -- Halbleitetechniken -- Faseroptik - VDI-Buch 1993 edition

In diesem Werk werden fünf der zentralen Technologien der Mikrosystemtechnik dargestellt: Integrierte Optik, Schichttechniken, Mikromechanik, Halbleitertechnik, Faseroptik. Das zugrundeliegende Konzept der Technometrie ist ein Verfahren zur Charakterisierung der Mikrotechniken und dient zur Abschätzung ihrer Attraktivität in unterschiedlichen Phasen des Technologie-Lebenszyklus. Der erreichte Stand der Technik wird mit Technikindikatoren abgebildet, auf deren Basis Technologietrends und Entwicklungspotentiale abgeleitet werden.